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書誌情報

タイトル

はじめての薄膜作製技術 ビギナーズブックス  40

著者名 草野 英二/著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 工業調査会
出版年月 2006.3
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 貸出可否 状態 貸出
1 中央0117929091図書一般549ク//保存書庫 在庫 

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2006
549.8 549.8

書誌詳細

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タイトルコード 1000000353507
書誌種別 図書
著者名 草野 英二/著
出版者 工業調査会
出版年月 2006.3
ページ数 191p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1252-0
タイトル はじめての薄膜作製技術 ビギナーズブックス  40
タイトルヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ ビギナーズ ブックス 
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。
件名 薄膜



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