蔵書情報
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書誌情報
タイトル |
はじめての薄膜作製技術
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著者名 |
草野 英二/著
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著者名ヨミ |
クサノ エイジ |
出版者 |
森北出版
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出版年月 |
2012.11 |
内容紹介 |
現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。 |
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在庫情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
貸出可否 |
状態 |
貸出
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1 |
中央 | 0118636323 | 図書一般 | 549ク// | 一般開架 | | 在庫 |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000010016111 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
草野 英二/著
|
出版者 |
森北出版
|
出版年月 |
2012.11 |
ページ数 |
7,160p |
大きさ |
22cm |
ISBN |
4-627-77452-0 |
タイトル |
はじめての薄膜作製技術 |
タイトルヨミ |
ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ |
内容紹介 |
現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。 |
著者紹介 |
神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)。 |
件名 |
薄膜
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目次
内容細目
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